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原子层沉积附着力

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等离子体原子层沉积

不需要有机溶剂,江苏大气低温等离子体表面处理机对环境无污染,由于低成本的绿色清洗方法作为干洗等离子清洗机,可控性强,一致性好,不仅彻底去除光刻胶有机物,还能活化、粗化晶圆表面,提高晶圆表面润湿性晶圆清洁器-等离子体清洁器用于去除晶圆凸块工艺前的污染。它还可以去除有机污染,氟和其他卤素污染,金属和金属氧化。。

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如此高密度的等离子体在短时间内浓缩和沉积了大部分脉冲能量,江苏大气低温等离子体表面处理机因此具有高温高压的特性。等离子体可以看作是等离子体与粒子之间传热的介质,可以有效地将脉冲能量传递给粒子。颗粒和衬底的材料、形状和大小不同,会引起对等离子体辐照的不同吸收,进而产生不同的温差和相应的膨胀应力差,使颗粒和衬底更容易分离。

江苏大气低温等离子体表面处理机

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