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叶片涂层附着力与粗糙度

杂质过多会导致真空泵转子卡死、刮伤或损坏各级旋叶、密封油路、或使排气阀板破裂……损坏导致真空处理设备甚至真空泵主要部件的排气能力。四。排气阀座检查:该检查主要是检查排气阀座是否损坏。排气阀作为真空泵的止回阀,附着力与粗糙度如果单向阀的功能被破坏,就会失效,降低真空等离子处理系统的排气能力。五。各级旋片检查:该项目主要检查真空泵各级旋转叶片的磨损情况。如果磨损或损坏严重,则匹配旋转叶片的间隙。增加并影响泵的能量。力量。

附着力与粗糙度

如果在使用过程中需要调整电极板的数量或间距,附着力与粗糙度的关系则需要检查自动对位状态。如果匹配设备的匹配时间较长,则需要调整初始值。 (3) 定期检查matcher的初始值。如果长期使用,初始值可能会发生偏移,请定期检查并根据情况进行调整。 (4)若初始值偏差较大,需检查冷凝器叶片位置未从配对装置内部移位,且未发生火花现象。如有火花,会及时处理。固定风量叶片和空气冷凝器运动部件基本匹配大调整。如果发生火灾,请检查刀片是否烧毁。

但下列现象没有办法通过调节开关调到允许范围之内:匹配命令发出之后调整电机不转、电容叶片变形卡住、位置电位器坏、位置电位器轴向紧固螺钉松动、齿轮磨损等情况只能打开匹配箱进行相应位置的调整及维修。无输出功率首先在射频源的输出接上50Ω的假负载,附着力与粗糙度的关系以此判断是射频源问题还是射频源之后的故障。若是接上假负载以后功率指示为零,说明射频源有问题,维修射频源。

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