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等离子体射频电源中等离子体与催化剂相互作用的研究进展:低温等离子体作为一种有效的分子激活手段,吸附力和附着力的区别与催化剂的跨学科研究越来越密切。两者的结合主要表现在以下两种形式:等离子体增强催化剂制备和催化剂增强等离子体化学反应。等离子射频电源的等离子体是由多种粒子组成的复杂系统。大多数催化剂是吸附金属活性组分的多孔介质。当催化剂与等离子体接触时,会对彼此产生一定的影响。

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当玻璃基片处在等离子体中时, 由于表面受到等离子体中的荷能粒 (电) 子的 轰击, 首先基片表面吸附的环境气体、水汽、污物等被轰掉, 使表面清洁活化, 表面能提高, 当沉积时薄膜原子或分子更好地浸润基片, 增大范德华力。其次玻璃基片表面经过荷能粒 (电) 子的撞击, 从微观上看, 基片表面会形成许多凹坑、孔隙, 在沉积过程中薄膜原子或分子进入这些凹坑、孔隙, 便产生了机械锁合力。

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