当等离子表面处理机在低温ECR蚀刻过程中增加O2的相对流量，喷黑油后加什么增加附着力硅蚀刻速率会明显增加，并且F含量和O2含量的比值在蚀刻过程中起到了很重要的作用。
我们可以发现，增加附着力的固化剂单层的石墨烯蚀刻速率比双层快很多。这是由于层数的减少意味着暴露面积的增加，也就意味着更多的碳碳键暴露，而双层或多层石墨烯总会有相互交叠，上层的碳碳键断裂后暴露的下层不定是同样的晶向，也就增加了蚀刻的难度，故而蚀刻速率会有显著不同。
RLSA是从空间上利用扩散实现ion-ion等离子体，增加附着力的固化剂而Mesa/8190XT则是利用时间(等离子体的开关)来实现的。从机理上讲RLSA电子温度更低，而Mesa/8190XT则增加了两个调节等离子体的手段，即同步脉冲的开关比以及频率。Mesa是两个射频功率同步脉冲，8190XT理论上可以是微波/射频的同步脉冲。
La203/Y-Al2O3催化剂吸附甲基自由基并促使C2烃的生成；与La203/Y-Al2O3催化剂不同，喷黑油后加什么增加附着力Nd2O3/Y-Al203催化剂则倾向于吸附含氧自由基，并且催化剂表面的甲基自由基易被含氧自由基氧化生成CO。
增加附着力的固化剂
