常用频率为13.56MHz和2.45GHZ。然后调整适当的输出。对于一定量的气体，增加附着力的材料输出量高，等离子体中活性粒子的密度高，脱胶率高。当功率增加到一定值时，反应将可消耗的活性离子填满，无论功率再高，脱胶率都不会明显增加。因功率大，板温高，需按技术要求安排功率。三、调整适当的真空度。适当的真空度可以增加电子运动的平均自由程，从而增加从电场中获得的能量，有利于电离。
化学催化下的CO2氧化CH4转化反应增加了目标产物的选择性。例如，增加附着力的材料负载型镍催化剂提供的目标产物为合成气（CO+H2），以镧系元素氧化物为催化剂的目标产物为C2烃。 由于在催化反应中破坏甲烷的CH键和CO2的CO键所需的能量较高，因此以C2烃为目标产物的合成路线反应温度高，CH4转化率高。比如低。王等人。
在一个每月生产10万片晶圆的20nm DARM工厂，在油墨中增加附着力的树脂产量下降1%将导致每年利润减少3000万到5000万美元，根据半导体市场的估计，逻辑芯片制造商的利润会减少更多。此外，产量下降将增加制造商本已很高的资本支出。因此，工艺的优化和控制是半导体生产工艺的重中之重，制造商对半导体设备，特别是清洗步骤的要求越来越高。在20nm及以上，清洗步骤的数量超过所有工艺步骤的30%。
物质通常以三种形式出现：固体、工业和气体，在油墨中增加附着力的树脂但在特殊情况下，物质会出现在太阳表面或地球大气层中的电离层。这种物质形式称为等离子体形式，也称为位置物质的第四种形式。以下物质是从血浆中产生的。电子的高速运动；中性原子、分子、原子团（自由基）；离子原子和分子；反应过程中产生的紫外线；未反应的分子、原子等。然而，该材料保持电中性。 1、除油污和金属表面清洁金属表面上经常存在油脂和油等有机物质和氧化层。
