半导体元件、印刷电路板、ATR元件、人造水晶、天然水晶、宝石的清洗。清洁用于沉积凝胶的生物芯片、微流控芯片和基板。高分子材料的表面变化。包装领域的清洗改性，附着力几级提高附着力，适用于直接包装和附着力。提高用于粘合光学元件、光纤、生物医学材料、航空航天材料等的粘合剂的粘合强度和强度。
反应可用下式描述：激发（包括旋转、振动和电子激发）:e+A2&RARR；A*2+e离解附着:e+A2&RARR；A-+A++E解离:e+A2&RARR；2A+E解离电离:e+A2&RARR；A++A+2E化合物:e+a+&Rarr；A+HV重粒子间的非弹性碰撞反应；重粒子之间的非弹性碰撞发生在分子、原子、活性基团和离子之间。重粒子之间的反应可分为离子-分子反应和活性基团-分子反应。
低温等离子体机可提供超精密线路板清洗、静电除尘、区域活化等离子体除尘，附着力几级最高解决涂层附着力差的问题。通过在电子元件表面涂上超薄的、长期的、选择性的防腐涂层，电子元件可以在极端天气条件下免受腐蚀或损坏。等离子自动清洗机在等离子清洗LED灯的过程中很好的解决了这两个问题。低温等离子体机作用于材料表面，产生的正负极等离子体可实现对LED材料表面的物理和化学清洗。
离子粒子可以去除材料表面的原子，拖拉机漆膜附着力几级合格也可以使原子附着在材料表面，有利于清洗和腐蚀反应。由于材料和工艺的发展，埋地盲孔结构的实现越来越小，盲孔电镀越来越精细。传统的化学除胶方法越来越难以使用。等离子体设备处置的清洗方法可以很好地克服湿法脱胶的特点，对盲孔和微孔达到良好的清洗（效率）效果。。
