同时，薄膜电晕处理工艺该技术具有反应速度快、作用时间短、材料物理力学性能损失小、改性效果多样等优点，因此具有广阔的应用前景。低温电晕作为一种无损表面处理技术，在高分子薄膜材料和纤维材料的表面处理方面显示出明显的优势。通过低温电晕表面处理，可以在处理后的基底表面产生活性官能团，增加表面活性。
电晕专门用于各种材料的表面改性：表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合和电晕辅助化学气相沉积。电晕的具体应用1.金属表面和氧化层的油脂、油污等有机物可以去除。2.汽车制造过程中使用的塑料和涂装的预处理。3.电晕专门应用于纺织品、滤网、膜的亲水、疏水及表面改性处理。4.电晕用于电子行业电路板的清洗和蚀刻。薄膜、PP等材料。无氧化活化处理，薄膜电晕处理工艺提高可焊性。
活性氧（活性原子氧）能迅速将聚酰亚胺薄膜氧化成挥发性气体，在薄膜电晕处理工艺过程中通过机械泵抽走，从而将聚酰亚胺薄膜从硅片上去除。电晕脱胶具有脱胶操作简单、脱胶效率高、表面清洁光滑、无划痕、成本低、环保等优点。介质电晕刻蚀设备一般采用电容耦合电晕平行板反应器。在平行电极反应器中，反应离子刻蚀腔采用小阴极面积和大阳极面积的非对称设计，刻蚀材料放置在面积较小的电极上。
吸附的分子随后通过离子或自由基聚合在表面交联，在薄膜电晕处理工艺过程中形成薄膜。在薄膜形成过程中，新形成的表面原子和分子会受到电晕中气相群和电磁辐射的轰击。经典聚合物具有活性结构，如承诺相互结合的双键。甲基丙烯酸甲酯的双键为聚甲基丙烯酸甲酯的形成提供了一个位点，聚甲基丙烯酸甲酯是可聚合分子在电晕处理条件下形成聚合物的一个众所周知的例子。电晕技术还可以利用传统化学方法无法聚合的材料形成聚合物。
