甲烷转化应选择较低的功率密度。功率密度对C2烃产率和CO产率的影响随功率密度的增加呈线性增加，增加漆的钢板附着力且CO产率的线性斜率明显高于C2烃产率的线性斜率。当功率密度从350kJ/mol增加到2200kJ/mol时，C2烃的产率增加从5.7%提高到20.6%，提高了近15个百分点。CO产率方面，当功率密度从350kJ/mol增加到2200kJ/mol时，CO产率从11.6%提高到76.4%，提高了近65个百分点。
在真空状态下，增加漆的钢板附着力气体往往是扩散的，难以形成对流;真空等离子体清洗机室的热量是由真空泵输送的走路也相对有限。改进措施:增加(大)进气口或增加抽气速度，但要考虑真空放电和等离子体处理效果。在其他方面，等离子体发生器的选择、功率尺寸的设置、真空室的尺寸以及电极结构的设计也有利于散热的改善。。
如上所述，增加漆的钢板附着力HBr/O2在n型掺杂多晶硅上的刻蚀速率比未掺杂多晶硅的刻蚀速率高20%，容易产生颈效应。因此，HBr/O2的过蚀量应严格控制，一般以30%为宜。过蚀刻量过少会导致多晶硅栅侧壁底部基脚过长。过多的过度蚀刻会导致上颈部效果的增加。虽然HBr/O2蚀刻工艺对栅状硅氧化物具有较高的蚀刻选择比，但仍容易造成硅穿孔(点蚀)和硅损伤。
等离子体被称为“物质的第四态”。我们通常对物质的认知和接触状态有三种:气、液、固三种状态之间的转换，增加漆的钢板附着力无论同一物质同时含有能量，三种状态之间的转换，最低能态是固体，固体吸收能转化为液体，液体吸收能转化为气体，气体是三种能量最高的状态。气相吸收更多的能量，形成物质的第四种状态，即等离子体。
加什么可以增加漆的附着力
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