1、二氧化硅活化机（二氧化硅干法刻蚀哪种气体产生最多聚合物） 一般来说，二氧化硅干法刻蚀哪种气体产生最多聚合物在较低的煅烧温度下，容易得到高度分散的小颗粒，晶格结构大多缺陷。煅烧温度越高，颗粒越大。在400 ~ 800℃范围内，研究了焙烧温度对10%-Bao /Y-Al203催化活性的影响。结果表明:400℃下甲烷和二氧化碳的转化率略高于其他煅烧温度，但C2选...
