非反应性气体电离后，表面改性的方法特点是主要依靠离子的物理影响来去除污染物。在清洁过程中，一些气体还会改变材料的表面特性。例如，氮等离子体可以提高金属材料的硬度和耐磨性。 ..另外两种常用的气体是氩气和氦气，它们的优点是击穿电压低，等离子体稳定。其中，氩原子的电离能ε为15.75eV，氩等离子体中含有大量半稳态原子。理想的物理反应气体。在实际清洗中，使用单一的物理或化学效果是不好的。
● 高电压和冷却的处理气体是通过柔性导管传输到放电区域的。 ● 气流中的活性元素(i+, e-, r *)会在放电区域内产生电弧。 ● 活性气流在经过特殊的喷头口时被聚焦在样品表面上达到处理的效果。
对于某些气体，好硅胶机表面改性处理机更常用的气体之一是惰性气体氩 (AR)。在真空室清洁过程中与氩气 (AR) 结合使用的等离子表面处理设备通常能够有效去除表面（纳米）米级污染物。常用于引线键合、Die attach 铜引线框架、PBGA 等工艺。为了提高物体表面的腐蚀（效果）效果，氧气（O2）在真空室中与等离子表面处理装置中的氧气（O2）配合进行清洗。这有效地去除了有机污染物。等待光刻胶等。
部分熔体前缘向上流动，好硅胶机表面改性处理机并通过芯片外围的大开口区域填充半模子的顶部。新形成的熔体前缘和吸附的熔体前缘进入半模顶...