高纯N2用于产生等离子体，对pi附着力好的树脂同时预热印张以在特定的第二阶段激活聚合物材料，其中O2和CF4作为原始气体，混合后产生O，F等离子体并与丙烯酸反应、PI、FR4、玻璃纤维等达到净化效果。第三阶段以O2为原气，O和F为残余反应，保持孔壁清洁。除等离子体化学反应外，清洗过程还涉及与材料表面的物理反应。等离子体粒子可以破坏材料表面上或附着在材料表面上的原子，这有利于清洁和蚀刻反应。
如果内腔真空度小于或等于预设值，对pi附着力好的树脂则真空低温等离子清洗机真空泵电动机的转速比值根据数值完全自动调节，使电动机的额定功率保持在设定的真空度范围内；如果内腔的真空度受到其他因素的影响，如果特定真空度与设定的真空度之间存在误差，则程序流程将全自动测量真空泵的速度，全自动调节到能够保持设定的真空值。这种控制被称为PID控制。 P为占比效应，I为积分效应，D为微分效应。
出乎意料的是，pi附着力真空低温等离子吸尘器的真空泵控制也应用了数学课上的比例积分导数函数。测量程序流中的PID控制值。软起动器的频率可以通过模拟0-10V的工作电压数据信号来控制，可以设定软起动器的控制方式和相关主要参数。。
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