氩和氦的特性稳定，材料附着力标准放电电压低（氩原子的电离能E为15.57 eV），易形成半稳定原子的物体Ar+与污物碰撞后被放电形成挥发性污点 真空泵一方面避免了表面材料的反应，另一方面，氩气的使用往往会形成可变稳定性原子，与氧和氦分子的碰撞导致电荷转换和再生增加。作用于物体表面的活性氧和氢原子。等离子清洗机使用纯氢气清洗表面氧化物，效率很高，但这里主要考虑放电的稳定性和安全性。
比较常见的是将定制的铜杆与PTFE材料的绝缘件相匹配，材料附着力标准输入真空等离子清洗机系统的真空室，将铜杆与排结构连接。此外，真空等离子体清洗机系统的电极板上应安装相应的接头。连接方式可为销钉公母头连接、铜片连接和弹片连接，连接排与电极板连接采用铜带连接和螺丝连接。在上述连接方式中，销钉公母头连接较为常见，该连接方式仅与腔内其他两种连接方式不同。
等离子处理器广泛应用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶片分层、等离子涂层、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理。等离子清洗机的表面处理提高了材料表面的润湿性，对不锈钢材料附着力强涂料可以进行各种材料的涂装、涂装等操作，增强粘合...
