化学键离解能/（kJ/mol）离解能/（ev/mol）CH3-CH3 367.8 3.8C2H5-H 409.6 4.2CH2=CH2 681.3 7.1C2H3-H 434.7 4.5CH=CH 964.9 10.0C2H-H 501.7 5.2纯C_2H_6的主要气相产物为C_2H_4、C_2H_2、H_2和CH_4，表面改性就是对固体表面固体产物为积碳。。
气体分子的激发是通过将气体（以开放式设计提供）引入电场（通常是高频）来实现的。在高频电场的作用下，固体表面改性方法自由电子产生能量，与中性气体分子碰撞，传递能量并解离，形成许多活性物质。受激物质与等离子体另一侧的固体表面相互作用，从而对材料表面进行化学和物理改性。等离子体对特定物质的影响取决于表面与等离子体中反应物之间的化学反应。当接触能较低时，等离子体与表面的相互作用只能改变材料的表面。
等离子体清洗设备在对固体材料进行表面处理时，表面改性就是对固体表面一般都涉及到物理和化学反应，化学反应主要有两种，那么如何理解这两种化学反应呢?还有哪些具体的实际应用?考虑到化学反应方程的讲解更加方便直观，下面就为大家讲解等离子清洗设备表面处理过程的反应方程。下式中，大写字母A、B、C、D、M分别表示不同的物质;小写字母S、G分别表示物质的固态和气态。
ESR 为研究这些自由基的变化提供了有效的研究方法 [27,28]。 5 表面形貌和结构特性扫描电镜（SEM）可以清楚地确认经过
