在利用稀有气体进行等离子体清洗机表面处理时，对塑料有附着力的单体如果处理后的高分子材料本身含有O2，则高分子破裂分解后，高分子碎片进入等离子体技术，为等离子体系统提供O2，同时产生等离子体技术效果。如果材料本身没有O2，空气中经过惰性等离子体清洗机技术处理后的新自由基和O2也会导致O2与大分子链结合。结果表明，用稀有气体等离子体技术处理含氧高分子材料会出现交联腐蚀和极性基团引入。
因此，对塑料有附着力的单体等离子体通过等离子体表面处理作用于固体表面后，可以破坏固体表面原有的化学键，产生新的反应气氛，等离子体中的自由基可以与这些键形成网络交联结构，极大地激活了表面活性。三是等离子体表面处理可以形成新的官能团：在进行等离子体表面处理时，放电气体中引入反应气体，会在活化材料表面产生复杂的化学反应。
这样产生的电子在电场中加速时会获得高能量，对塑料有附着力的单体并与周围的分子或原子发生碰撞，结果使分子和原子中又激发出电子，而本身又处于激发状态或离子状态。这时物质存在的状态即为等离子体状态。 等离子与材料表面可产生的反应主要有两种，一种是靠自由基来做化学反应，另一种则是靠离子作物理反应，以下将作更详细的说明。
除了气体分子、离子和电子外，对塑料有附着力的单体还有电中性原子或由能量激发的原子团（形成自由基）和等离子体发出的光，其中波的长度和能量在等离子体与材料表面相互作用中起着重要作用。
对塑料有附着力的单体
