其中，对玻璃又有一附着力的物质物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。 我们的工作气体，经常用到氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）、甲烷（CF4）等。
等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，对玻璃又有一附着力的物质但物质在总体上仍保持电中性状态。
当电子在电场中加速时，附着力的评价标准是什么会获得高能量，与周围的分子或原子发生碰撞。因此，电子在分子和原子中被激发，它们处于被激发或离子状态。此时，物质存在的状态是等离子体状态。辉光放电条件下，在高频电场中处于低压状态的氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子可以分解加速的原子和分子，这样产生的电子可以解离成带正负电荷的原子和分子。当电子在电场中加速时，会获得高能量，与周围的分子或原子发生碰撞。
例如，对玻璃又有一附着力的物质如果把带正电荷的球体放在等离子体中，它会吸引等离子体中的电子，排斥这些离子，从而在球体周围形成带负电荷的球体&ldquo；电子云&rdquo；.真空等离子体清洗机中的等离子体具有振荡特性：一般等离子体处于平衡状态时，其密度分布在宏观上是均匀的，而在微观上则是有升有降，且不均匀，密度波动具有振荡特性。
对玻璃又有一附着力的物质
