低温等离子清洗机在微电子领域得到了广泛的应用，但是在绝大数条件下，等离子体的产生需要在低气压条件下实现，真空等离子清洗机设备价格昂贵、真空环境操作的复杂性大大地限制了其在其他领域的广泛应用。为了摆脱对真空环境的依赖，大气等离子清洗机的出现解决了这一问题。
大气压冷等离子体是在约101.325kPa下的气体环境中产生的非平衡态等离子体。由于放电冷离子体的特殊性，它们都很难达到热平衡态，电子温度远大于离子温度，形成低温非平衡态等离子体。等离子体在大气压开放环境条件下的产生和应用，使得等离子体自身的产生变得简单、设备的制造和维护成本大大降低。同时，等离子体源具有更好的移动性，在进行材料处理、辅助机械加工过程中更易于操作。两种常见的大气等离子清洗机大气等离子清洗机工作原理
图1为大气等离子清洗机工作原理示意图，其主要由电源系统、等离子喷枪系统及气源系统三部分组成。当交流高压电源以几kHz，数kV输出时，在棒状电极末端，距离金属喷嘴最近的地方易形成极高电场，出现尖端放电；工作气体在这个区域被交流高压电源充分电离，产生等离子体；并随着工作气体的不断涌入，等离子体被吹出喷嘴，形成一段距离有限且发光的等离子体射流，伴随嘶嘶声。
图1 大气等离子清洗机工作原理示意图（1）电源系统
等离子体放电所使用的电源可为射频电源、高压直流电源、低频交流电源等。而高压直流电源需要较为复杂的阻抗匹配，射频电源会产生较强的电场辐射，需要对设备进行电磁屏蔽。因此，大气等离子清洗机大都选用低频交流电源作为电源系统。
低温等离子体电源由接触调压器和交流电源两部分组成。交流电源的输出频率为30~100kHz，中心频率60kHz，输出电...
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