大气常压直接等离子清洗与远程等离子清洗常压大气直接等离子清洗(directplasma)与远程等离子清洗(remoteplasma)最大的差别在于前者电极构造设计成电场外漏，等离子体放电时，解离反应可以延续至喷头外，甚至把试片作为电极的一部分，因此直接型等离子体的等离子效率较高，但由于电场外漏，极容易对导电试片造成电弧击伤或静电击伤问题，因此直接型等离子清洗无法使用在会导电的试片上；另外应用在导电的试片处理时也要注意因电场外漏产生的电弧及丝状放电对等离子处理时的均匀性多少也会造成影响。远程等离子清洗机则是经由适当的电极设计，等离子体产生后再由出口送达试片表面，由于等离子体被隔离，因此没有静电击伤的问题，但等离子体也相对较弱，尤其是remoteDBD在使用空气作为工作气体时，效果远远不及使用N2remoteDBD等离子体。
远程等离子体清洗技术在实际应用的过程中，工艺非常简单，同时操作方便，处理的效率非常高，且无需废液、废气处理，对环境无污染，可以极大地节约能源，降低成本。大气常压直接等离子清洗与远程等离子清洗00224400