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真空泵抽速快,等离子体电子密度ne背底真空值越低,说明里面残留的空气越少,铜支架与空气里面的氧等离子体反应的机会就越少;当工艺气体进入,形成的等离子体可以充分与铜支架反应,没有被激发的工艺气体可以把反应物带走,铜支架清洗效果会好,不容易变色。2 等离子清洗机电源功率对产品清洗效果和变色的影响等离子清洗机电源功率关联因素包括能量功率大小和单位功率密度。

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