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我们称这三种基本形式为物质的三种状态。那么在气态，等离子体增强化学气相沉积设备当温度上升到几千度时会发生什么?随着物质分子热量的增加，碰撞使气体分子电离，从而使物质成为自由移动和相互作用的正离子和电子的混合物(蜡烛的火焰处于这种状态)。我们称这种存在状态为物质的第四种状态，即等离子体。因为正离子和电子在电离过程中总是成对的，所以等离子体中正离子和电子的总数大致相同，而且总体上是准中性的。
等离子体清洗系统常用的激励频率有三种:40kHz、13.56mhz和20MHz;不同的等离子体激励频率会产生不同的自偏置电压。40kHz的自偏置约为0V, 13.56mhz的自偏置约为250V, 20MHz的自偏置更低。这三种激励频率具有不同的机制。40kHz的反应是物理反应，等离子体电子密度模拟13.56mhz的反应是物理反应和化学反应。
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共轭匹配可以使总阻抗为纯电阻，即负载阻抗Z必须为(a- JB)在在线等离子清洗机的设计中，为了将回路中的高频电流控制在合理的数值范围内，高频发生器的输出阻抗通常设计为纯电阻，一般为50一般来说，高频放电阻抗是电容阻抗，由于等离子清洗机在线反应腔放电条件的变化，高频放电阻抗数值发生变化，所以需要结合放电阻抗调整阻抗匹配网络，模拟加和器的负载阻抗，使之与高频发电机输出阻抗相匹配。
结合放电过程的一维数值模拟，他们认为氮气中的均匀放电仍然是汤森德放电，而氦中的均匀放电是真正的辉光放电或亚辉光放电。他们还认为，在大气压下均匀放电的关键是较低电场下大的电子雪崩的缓慢发展。因此，在放电开始前，缝隙中一定有大量的种子电子，亚稳态的长寿命是极其重要的宁电离可以提供这些种子电子。
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&”;《高能等离子体表面涂层》、《金刚石膜涂层技术》、《表面改性与涂层过程模拟与性能预测》。等等都有突破性进展。热化学表面改性技术的现状及发展趋势近年来，等离子体电子密度模拟国外对可控气氛和真空条件下的渗碳和碳氮共渗的研究得到了重视，并实现了工业化。但在国内应用较少，相关的技术研究工作还不够。
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