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例如,拉开法测定附着力步骤湿法处理步骤简单易实现,但处理结果含有C、O、F等污染物;高温处理可有效去除C、O等污染物,但处理温度有待进一步优化,后续工艺兼容性差;等离子体处理可以有效去除O、F等污染物,但处理温度和时间不当会对表面带来离子损伤,重构SiC表面。

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