立轴罗茨真空泵:罗茨真空泵有两个转子轴垂直于水平面安装。以上是低压真空等离子清洗设备所使用的罗茨真空泵的工作原理和分类。如果您想了解更多关于等离子设备的详细内容，什么叫拉拔附着力或者对设备的使用有疑问，欢迎点击在线客户服务咨询，欢迎您的来电!。真空等离子体清洗设备在半导体封装领域的应用，可以说有六个方面:由于等离子体不是液体、固体或气体，所以可以称之为“第四种状态”。等离子体以离子和电子的形式存在。
有足够的能量注入蒸气，什么叫拉拔附着力使其转化为等离子体。等离子体活性成分包括：离子、电子器件、活性基团、核素（亚稳态）、光子等。低温等离子体发生器就是基于这些活性成分在样品表面实现清洁。与固体、液体和蒸气一样，等离子体是化学物质的一种情况，也被称为化学物质的第四态。给蒸汽足够的能量使其解离成等离子体。
等离子体设备分类:①Jet AP等离子处理器系列②全自动X/Y轴AP等离子处理系统真空等离子设备系列⑤AP宽频等离子处理器系列④大气辉光等离子清洗机系列真空等离子设备/大气等离子处理器几个术语，拉拔附着力试验机又称低温等离子处理器、等离子处理器、等离子加工机、低温
