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提高聚合物的亲水性

一般在光刻胶涂覆和光刻显影后,怎样提高聚合物涂料附着力用光刻胶作为掩模,通过物理溅射和化学作用去除不必要的金属,以形成与光刻胶图形相同的电路图形。等离子体刻蚀是干法刻蚀的主流,由于其刻蚀速率较好,方向性较好,已逐渐取代湿法刻蚀。3形成的氮化硅侧壁腐蚀倾角的影响参数真空等离子体清洗机的蚀刻工艺在半导体集成电路中,不仅可以蚀刻表面的光刻胶,还可以蚀刻下部的氮化硅层,同时还要防止对硅衬底的蚀刻损伤,以满足诸多工艺要求。

涂料附着力图形

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聚合物的亲水性(怎么测试聚合物的亲水性)提高聚合物的亲水性

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4、PDMS芯片键合仪等离子表面处理应用,氧等离子提高PDMS与和硅片或玻璃片的键合牢固性