使用干墙对晶圆级封装进行等离子表面处理，表面改性金属材料可控性强，一致性好，不仅能彻底去除光刻胶等有机物，还能活化和粗糙化晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性成为可能. 等离子体表面处理的工作原理：在真空状态下，压力减小，分子间距离增大，分子内力减小。工艺气体与高反应性等离子体或高能等离子体碰撞并反应。它与有机物和颗粒污染物碰撞形成挥发物，然后通过工作气流和真空泵将其去除，从而实现等离子体表面的清洁和活化。
等离子清洗工艺能够获得真正 % 的清洗； 与等离子清洗相比，等离子束表面改性设备原理水洗清洗通常只是一种稀释过程； 与CO2清洗技术相比，等离子清洗不需要耗费其它材料； 与喷砂清洗相比，等离子清洗可以处理材料的完整表面结构，而不仅仅是表层突出部分； 可以在线集成，无需额外空间； 低运行成本，环保的预处理工艺； 预处理：等离子面向不同应用的表面活化处理； 等离子表面处理技术可以用于多种材料的表面活化，包括塑料，金属，玻璃，纺织品等。
近年来，表面改性金属材料用等等离子体对聚四氟乙烯进行表面处理的研究越来越多。结果表明，等离子体表面处理可以提高PTFE膜的粘度，但主要影响因素如下：1.处理能力：当等离子体表面处理功率较小时，处理膜的剪切强度随功率的增加而增加，达到峰值后逐渐降低。2.处理气体：在相同条件下，O2等离子体的处理效果明显高于氮等离子体。3.办理时间：薄膜表面接触角随处理时间的增加而减小，但一定时间后，接触角变化不大。
