当电子器件被输送到外观清洁范围时，橡胶表面附着力促进粘附在清洁外观上的污染物分子结构发生碰撞，会促进污染物分子结构的转变，形成活性氧自由基，有助于引起污染物分子结构的进一步活化；而且，低质量的电子器件运动速度比离子快得多，因此电子器件比离子更早到达物体外表面，并使外表面带负电荷，有助于引起进一步的活化反应。
在这个过程中，橡胶表面附着力促进等离子体还会产生高能紫外光，它与快速生成的离子和电子一起提供了打破聚合物键和产生表面化学反应所需的能量。在这个化学过程中，只涉及到材料表面的几个原子层，聚合物的本体性能保持不变。选择合适的反应气体和工艺参数可以促进特定的反应，从而形成特定的聚合物附件和结构。可以选择反应物，使等离子体与底物发生反应，形成易挥发的附件。
1. CO2分子与高能电子的非弹性碰撞； 2.系统中的 CHx 和 H 等活性物质会激活 CO2； 3.催化剂吸附 CO2 分子，硅橡胶表面附着力促进剂与 C-0 结合，促进 CO 键的断裂和 CO。并产生活性O原子。显然，在等离子体催化的联合作用下，路径 3 对于 CH4 和 CO2 的转化无疑是重要的。等离子体中催化剂的活化主要取决于与高能电子的碰撞。
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