正如我们所熟知气体放电、激光和热电离以及光电离等多种方式可以产生等离子，目前最广泛的使用方式是气体放电。气体放电分为多种类型，如自持放电、电晕放电、辉光放电、大气压介质阻挡放电，射频放电等。以下就几种气体放电方式展开介绍：
(1)辉光放电(glowdischarge)是一种稳定的自持放电过程，能够产生一种典型的低温等离子体。在较低气压下，一般较易产生稳定的辉光放电，其中存在着大量种类繁多的活性粒子，如电子、离子和中性粒子。它在等离子体表面改性、杀菌与消毒、气体激光器和污水处理等领域都有广泛的应用，因此在化学领域常将低温等离子体作为广泛采用的放电形式。常见的产生辉光放电的等离子体源，有射频辉光放电和脉冲辉光放电等。辉光放电通常在电极空间形成明亮而又稳定的放电外貌，而且对光源强度要求比较高，适合作为灰暗环境下进行精准操作的等离子体光源。由于辉光放电具有均匀度高、功率密度适中且温度低的特点，因此在薄膜制备和材料表面处理等领域具有广泛的工业应用前景。
(2)电晕放电(coronadischarge)常采用非对称电极（如针-针电极、针-板电极等），高压下击穿气体，在电极附近产生，由于电晕放电的产生仅限于非均匀电场，这就使得产生电晕放电的区域非常有限，因此大多数的电晕放电都比较弱，产生的等离子体活性不够高。
(3)弧光放电(arcdischarge)是一种自持放电，这是区别于其它放电形式的显著特征，且其发光强度较强，电流密度非常高，等离子体温度可以达到3´103K~5´104K，因此在冶炼、喷涂、切割、焊接和金刚石材料生长等方面都有着广泛的应用。
(4)大气压介质阻挡(DielectricBarrierDischarge，DBD)放电，又称无声放电，是由绝缘介质参与冷等离子体放电，介质可以覆盖在电极上或者悬挂在放电空间的放电模式。这种放电实际上是由大量细微的快脉冲放电通道构成的，具有均匀、散漫、稳定等特征，而且只有在特定条件下才能实现均匀放电。介质阻挡放电能够在较大的气体压强和驱动频率范围内工作，目前常用的气压条件为104~106Pa，驱动频率为50Hz~1MHz。
(5)射频放电(radio-frequencycharge)即在低气压容器的两极上...
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处理（设气体放电形成的等离子体圆柱内的体电荷）.jpg)
