等离子蚀刻机的检测操作和处理方式都在这里等离子体蚀刻机的原理是在真空状态下，氟碳表面活化剂利用射频辐射氧气、氩气、氮气、四氟碳等气体产生高度活性的离子与器件反应形成挥发性化合物，然后通过真空系统去除这些挥发性物质。1. 确认万用表工作正常，量程设置为200mV.2。2 .冷探头接电压表的正电极，热探头接电压表的负电极。用冷热探针接触硅片边缘未连接的两个点。电压表显示这两点之间的电压为正，说明导电类型为p型，刻蚀合格。
真空等离子处理器选用气体如氧、氢、氮时注意事项:通过真空等离子处理器进行加工的材料表面处理技术有很多，氟碳表面活化剂有哪些它们都有不同的加工要求和用途，那么我们选用的工艺气体也不同，在等离子处理器的表面处理工艺中使用的气体有氧气、氩气、氮气、氢气、四氟碳压缩空气等，常用的有氧气、氢气、氮气三种，等离子处理器技术选用这三种工艺气体。
根据气体的性质，氟碳表面活化剂等离子体可分为以下两种类型:气态等离子体和非气态等离子体，气态等离子体根据其所使用气体的化学性质不同又可分为惰性气体和活性气体。惰性等离子体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟碳(CF4)、空气等，气态等离子体如氧气(O2)、氢气(H2)等。在清洗过程中，不同类型的气体反应机理不同，活性等离子体对化学反应有很大的影响。由于气体的性质不同，用于清洗的污染物必须有不同的选择。
薄膜中氟碳比、润湿性和存在形态，氟碳表面活化剂有哪些显然都与纤维蛋白质的吸收和存储息息相关，纤维蛋白原是一种存在于人体血液中并参与凝血过程的蛋白质。可以采用PECVD制备不同表面形态的类聚四氟乙烯薄膜。 通过等离子聚合可以从有机硅单体中获取类硅烷薄膜。SixCyHkOz复合物被用在血液过滤器中和聚丙烯的中空纤维膜中以涂覆活性炭的颗粒。
