例如，氩气刻蚀硅的电离方程式浮油和注塑添加剂等有机物形成均匀清洁和反应性聚合物表面。交联是在聚合物分子链之间建立化学连接。惰性气体等离子体可用于交联聚合物，以形成更坚固的表面，耐磨损和化学侵蚀。医疗导管、临床设备和隐形眼镜等医疗设备都受益于等离子体诱导的交联反应。这种化学反应还可以用氟或氧原子取代聚合物表面的氢原子。氩气和氦气等惰性气体具有化学惰性，不会与表面结合或在表面引起化学反应。
例如，氩气刻蚀硅的电离方程式浮油和可注射添加剂等有机化学品会产生一类平衡、清洁和反应性强的聚合物。交联是在聚合物材料的分子结构链之间建立有机化学连接。惰性气体等离子体可用于交联聚合物，以形成更耐磨损和耐化学品的表面。医用导管、临床设备、隐形眼镜等都可以从等离子体诱导的交联反应中受益。在聚合物表面上，氢原子也可以被氟或氧原子取代。一类稀有气体，例如氩气和氦气，它们在化学上是惰性的，不会与表面结合或发生化学反应。
在真空设备清洗工艺中常与氩气结合使用，氩气刻蚀硅的电离方程式可有效去除表面纳米级污染物。材料表面蚀刻的解决方案是选择性地使用反应性气体等离子体腐蚀材料表面。这会将腐蚀材料中的杂质转化为气体，并将其从真空泵中排出。亲水的。可引入氧气（O2）增强蚀刻效果，表面处理等离子清洗机可有效去除光刻胶等有机污染物。纳米涂层溶液，等离子清洗机处理，等离子感应聚合形成纳米涂层。
活性气体和惰性气体等离子体：有两种类型，氩气刻蚀硅的电离方程式惰性气体等离子体和活性气体等离子体，这取决于用于产生等离子体的气体的化学性质。惰性气体如氩气（Ar）、氮气（N2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、...
