非反应性气体电离后，氩气蚀刻主要依靠离子的物理影响来去除污染物。在清洁过程中，一些气体还会改变材料的表面特性。例如，氮等离子体可以提高金属材料的硬度和耐磨性。 ..另外两种常用的气体是氩气和氦气，它们的优点是击穿电压低，等离子体稳定。其中，氩原子的电离能ε为15.75eV，氩等离子体中含有大量半稳态原子。理想的物理反应气体。在实际清洗中，使用单一的物理或化学效果是不好的。
氩气本身是惰性气体，氩气蚀刻等离子氩气不与表面反应，但会通过离子冲击清洁表面。典型的等离子化学清洗工艺是氧等离子清洗。等离子体产生的氧自由基具有很强的反应性，很容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳和水等挥发物，从而去除表面污染物。... 2.2 激励频率的分类等离子体态的密度与激发频率之间存在如下关系。 nc = 1.2425 × 108 v2其中 nc 是等离子体态的密度 (cm-3)，v 是激发频率。
由于金属氧化物会与工艺气体发生化学反应，氩气蚀刻因此必须使用氢气或氩气的混合物。也可以使用两步处理过程。首先氧化5分钟，然后与氢气和氩气混合以去除表面氧化物。也可以同时处理多种气体。等离子表面处理技术需要增加材料表面的润湿性。五。有助于改善电连接器和电缆系统之间的连接。在电镀、连接和焊接等操作过程中，良好的连接很容易被削弱，这些残留物可以通过等离子表面处理技术选择性地去除。
粘合：良好的粘合通常会因电镀、粘合和焊接操作中的残留物而减弱，氩气蚀刻机器这些残留物可以通过等离子方法选择性地去除。同时，氧化层也对键合质量产生不利影响，需要等离子清洗。处理气体可以是氧气、氢气或氩气。适用于P...
