独立式电晕设备又称离线式、单体式、批量式电晕清洗设备，自动水浴电晕机的特点主要包括电晕产生系统、排气系统、温度控制系统、气路控制系统、冷却系统、电气控制系统、真空产生系统和钣金零件等。在线电晕设备又称连续不间断电晕清洗设备。在线电晕清洗设备是在独立式的基础上设计的，在满足产品加工均匀性和一致性的同时，提高了自动化程度，减少了人工参与的需要。
2）系统控制单元：分为三种，电晕机的作用和用途按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。2.真空腔体：真空腔体主要分为两种材料：1）不锈钢真空室。2）石英腔。三。真空泵：真空泵分为两种：1）干燥泵。2）油泵。大气电晕的结构主要分为主机（射频电源）和喷嘴两大部件。喷嘴分为直接射流式和旋转射流式常压电晕因其独特的喷嘴+主机形式，可根据用户需求配置最优流水线生产方案，大大提高了生产效率。
简单来说，自动水浴电晕机的特点自动清洗台同时清洗多片晶圆，优点是设备成熟，生产率高，而单片晶圆清洗设备逐片清洗，优点是清洗精度高，可有效清洗背面、斜面和边缘，避免晶圆间交叉污染。45nm之前，自动清洁台可满足清洁要求，目前仍在使用；而45以下的工艺节点则依赖于单片晶圆清洗设备来满足清洗精度要求。在未来工艺节点减少的情况下，单片晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。
电晕一般有以下用途：1.电晕发生器可作为热源；2.电晕发生器可用作化学催化剂；3.电晕发生器可作为高能离子流和电子流的源；4.电晕发生器可以作为溅射粒子源；在许多工艺中，自动水浴电晕机的特点电晕发生器的这些基本特性随处可见，逐渐形成了以电晕为加工手段的基础制造业。单一工艺或几种工艺的组合可以赋予电晕不同的用途。
可与生产线配套，自动水浴电晕机完成的主要任务实现全自动生产，节约成本。等离子机表面处理效率（果）较好，均匀稳定，而传统处理效率（果）耗时较长。。等离子机涤纶织物、电子产品和汽车的研究与分析；1.等离子体机表面聚酯纤维织物的处理等离子体机接枝聚合用于材料的表面改性，接枝层与表面分子共价结合，可达到优异...
5.由于清洗系统自动化程度高，电晕机的铝板程序控制运行更稳定，改改变了传统清洗过程中管理粗放、把关不严的问题。特别是对于化工罐车等危险行业的清洗，自动清洗系统使清洗安全性大大提高。目前，清洁行业已渗透到几乎所有工业领域，包括石油、化学、能源、电力、冶金、建筑、机械电子、交通运输、纺织、印刷乃至核工业...
物体表面的粘附能力显著提高，印前处理电晕机图片因此可以使用更环保的体系，如水性、无VOC涂料或胶粘剂这意味着通过利用电晕技术，可以实现新的、低成本、环保的制造工艺，获得安全无毒的产品。。常压电晕设备技术在喷涂印刷行业的应用，主要是针对PP、PE等材料在丝网印刷或移印前的附着力提高，以及电线电缆、日化...
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