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自动水浴电晕机的操作要点

独立式电晕设备又称离线式、单体式、批量式电晕清洗设备,自动水浴电晕机的特点主要包括电晕产生系统、排气系统、温度控制系统、气路控制系统、冷却系统、电气控制系统、真空产生系统和钣金零件等。在线电晕设备又称连续不间断电晕清洗设备。在线电晕清洗设备是在独立式的基础上设计的,在满足产品加工均匀性和一致性的同时,提高了自动化程度,减少了人工参与的需要。

电晕机的作用和用途

2)系统控制单元:分为三种,电晕机的作用和用途按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。2.真空腔体:真空腔体主要分为两种材料:1)不锈钢真空室。2)石英腔。三。真空泵:真空泵分为两种:1)干燥泵。2)油泵。大气电晕的结构主要分为主机(射频电源)和喷嘴两大部件。喷嘴分为直接射流式和旋转射流式常压电晕因其独特的喷嘴+主机形式,可根据用户需求配置最优流水线生产方案,大大提高了生产效率。

简单来说,自动水浴电晕机的特点自动清洗台同时清洗多片晶圆,优点是设备成熟,生产率高,而单片晶圆清洗设备逐片清洗,优点是清洗精度高,可有效清洗背面、斜面和边缘,避免晶圆间交叉污染。45nm之前,自动清洁台可满足清洁要求,目前仍在使用;而45以下的工艺节点则依赖于单片晶圆清洗设备来满足清洗精度要求。在未来工艺节点减少的情况下,单片晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。

电晕一般有以下用途:1.电晕发生器可作为热源;2.电晕发生器可用作化学催化剂;3.电晕发生器可作为高能离子流和电子流的源;4.电晕发生器可以作为溅射粒子源;在许多工艺中,自动水浴电晕机的特点电晕发生器的这些基本特性随处可见,逐渐形成了以电晕为加工手段的基础制造业。单一工艺或几种工艺的组合可以赋予电晕不同的用途。

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