(4)接触时间:待清洗材料在等离子体中的接触时间对清洗效果和等离子体工作效率有重要影响。接触时间长，检测附着力的胶带清洗效果比较好，但工作效率低。(5)传输系统速度:对于常压等离子体清洗过程，连续传输系统会涉及到大型物体的处理。因此,慢的相对运动对象清洗电极,处理的效果就会越好,但太慢会影响工作效率,另一方面,另一方面,会导致材料的表面的损伤,导致延长处理时间。
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不同的等离子体产生的自偏压是不同的。超声波等离子的自偏压在0V左右，检测附着力的胶带高频等离子的自偏压在250V左右，微波等离子的自偏压很低，几十伏。三种等离子体的机理不同。超声波等离子体产生的反应是物理反应，高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。但由于40KHz是早期技术，射频匹配后的能耗太高，实际作用于待清洁物体的能量还不到原始能量的1/3。
等离子清洗在清洗过程中通过射频电源电离真空腔内气体产生等离子体，油漆多长时间后检测附着力等离子体具有高能量可以通过物理作用轰击金属表面使金属表面的污染物从金属表面脱落，其次电离某种气体可以产生对应的活性粒子，活性粒子会与表面的有机物或者氧化物等发生化学反应进而生成易于挥发的物质可以被真空泵排出反应腔体达到清洗物体表面的效果。气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。
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