显然，油墨粘度高附着力热等离子体不适合加工材料，因为地球上没有任何材料能承受热等离子体的温度。与热等离子体相比，低温等离子体的温度仅在室温或略高，电子的温度高于离子和原子，一般可达0.1～10电子伏特。而且由于气体的压强较低，电子和离子之间的碰撞很少，因此达不到热力学平衡。由于低温等离子体的温度在室温范围内，可以应用于材料领域。低温等离子体通常是通过气体放电获得的。
等离子蚀刻中等离子清洗机专用气体的使用：先进逻辑芯片的完整制造过程涉及数千个独立的过程，油墨粘度高附着力并使用大约 100 种不同的气体材料。
对整体、局部和复杂结构的精细清洗;等离子体清洗过程易于控制、重复和自动化。。等离子清洗机是专门用于材料和产品表面处理和改性的等离子处理设备，油墨粘度高附着力气体辉光或亚辉光放电方式产生等离子体，可达到不同的加工目的。常见的等离子清洗机通常有两种，一种是低压真空等离子表面处理设备，一种是常压大气等离子表面处理设备，分别为
