2.3 等离子体的种类 (1) 低温和高温可分为高温等离子体和低温等离子体两种。在等离子体中，泰安等离子不同粒子的温度实际上是不同的，它们所具有的温度与动能有关。速度和质量是相关的。存在于等离子体中的离子的温度用Ti表示，电子的温度用Te表示，原子等中性粒子的温度用分子或原子团的Tn表示。如果Te远高于Ti和Tn，即低压气体，此时气体的压力只有几百帕斯卡。
2.4.1 原子团等自由基与物体表面的反应 这些自由基在等离子体中发挥着重要作用，泰安等离子表面处理机因为它们电性重、寿命长、离子含量比离子多。自由基主要出现在化学反应过程中能量转移的“激活”中。被激发的自由基具有很高的能量，因此它们与表面分子结合时往往会形成新的自由基。新形成的自由基是一样的，在不稳定的高能状态下，容易发生分解反应，新的自由基与小分子同时产生。这个反应过程继续并最终分解成简单的分子，如水和二氧化碳。
另外，泰安等离子清洗设备当自由基与表面分子结合时，会释放出大量的结合能，这是引发新的表面反应的驱动力，在被去除的材料表面引起化学反应。 2.4.2 电子与物体表面的相互作用 另一方面，电子对物体表面的影响, 能促进吸附在物体表面的气体分子的分解和解吸。另一方面，大量的电子冲击有利于触发化学反应。电子的质量非常小，移动速度比离子快得多。处理等离子体时，电子比离子更快地到达物体表面，使表面带负电荷。...
