2.3 等离子体的种类 (1) 低温和高温可分为高温等离子体和低温等离子体两种。在等离子体中,泰安等离子不同粒子的温度实际上是不同的,它们所具有的温度与动能有关。速度和质量是相关的。存在于等离子体中的离子的温度用Ti表示,电子的温度用Te表示,原子等中性粒子的温度用分子或原子团的Tn表示。如果Te远高于Ti和Tn,即低压气体,此时气体的压力只有几百帕斯卡。
2.4.1 原子团等自由基与物体表面的反应 这些自由基在等离子体中发挥着重要作用,泰安等离子表面处理机因为它们电性重、寿命长、离子含量比离子多。自由基主要出现在化学反应过程中能量转移的“激活”中。被激发的自由基具有很高的能量,因此它们与表面分子结合时往往会形成新的自由基。新形成的自由基是一样的,在不稳定的高能状态下,容易发生分解反应,新的自由基与小分子同时产生。这个反应过程继续并最终分解成简单的分子,如水和二氧化碳。
另外,泰安等离子清洗设备当自由基与表面分子结合时,会释放出大量的结合能,这是引发新的表面反应的驱动力,在被去除的材料表面引起化学反应。 2.4.2 电子与物体表面的相互作用 另一方面,电子对物体表面的影响, 能促进吸附在物体表面的气体分子的分解和解吸。另一方面,大量的电子冲击有利于触发化学反应。电子的质量非常小,移动速度比离子快得多。处理等离子体时,电子比离子更快地到达物体表面,使表面带负电荷。这有助于引发进一步的反应。
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