等离子清洗性能好，附着力与什么有关呀清洗速度快，对氧化物的去除效果好，对有机物和物体的表层有很好的活化作用，不会产生对人体或环境有害的气体。使用过程。这是一个非常环保的设备。以气体为清洗介质，有效避免了液体清洗介质对被清洗物的二次污染。等离子技术处理器连接到机械泵。室内等离子技术在操作过程中轻柔地清洁表层。短期清洗可以彻底去除有机污染物，同时彻底去除机械泵中的污染物。它被排放到分子水平。
等离子体清洗性能好，附着力与什么有关呀清洗速度快，去除氧化物、有机物和物体表面活化效果好，并且在使用过程中不会产生对人体和环境有害的气体，是真正的环保设备。气体作为清洗介质，有效地避免了液体清洗介质对被清洗物体的二次污染。等离子技术处理器与机械泵连接，等离子技术在运行时对室内表层进行松散的清理。短期清洗可彻底去除有机污染物，将机械泵内的污染物排放到分子级清洗。
(2)气体种类：待处理的基材和表面污染物种类繁多，涂料抗附着力与耐擦洗性不同气体排放产生的等离子处理器的等离子清洗速度和清洗效果完全不同。因此，应有针对性地选择等离子体的工作气体。例如，可以选择氧等离子体去除物体表面的油污，可以选择氢氩混合气体等离子体去除氧化层。(3)放电功率：增加放电功率增加等离子体密度，增加（活性）粒子的能量，提高清洗性能。例如，氧等离子体的密度直接受放电功率的影响。
同时，涂料抗附着力与耐擦洗性由于离子发散方向不同，侧壁角的一致性难以控制。因此，以前用于硅蚀刻的电感耦合等离子体(ICP)高密度等离子体设备逐渐应用于氮化硅侧壁的蚀刻。由于icp器件可以在低压区工作，离子的指向性好，散射小。同时，气体在腔内停留时间短，腐蚀均匀性好。另外，在蚀刻过程中采用了腔体预沉积功能，即在每个芯片蚀刻前，在腔体上沉积一层薄膜，蚀刻后将腔壁上的薄膜去除。保证了腔环境的一致性，大大提高了蚀刻过程的稳定性。
