真空等离子清洗机作为一种绿色无污染的高精密干法清洗设备，可以有效去除表面污染物，该设备具有清洗快速、安全环保、低温经济、操作简单等优势，广泛应用于刻蚀、表面活化、材料改性、表面清洗等领域。现将我司真空等离子清洗机系列设备多年来运行中的常见报警故障和典型案例进行汇总分析，并将报警现象、维修过程和故障总结进行简要陈述，以便于广大用户遇到类似或者相同故障进行借鉴参考。1、真空等离子清洗机显示气体压力过低,工作气体耗尽报警
出现这种故障时，可能是气体未开启或气体已耗尽，需要检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无出现断路或短路的现象。
2、真空泵倒计时时间故障
当遇到此类故障时需要先检查真空泵抽真空能力，故障排除后再点击复位键，出现渗气或真空门未关到位都会影响真空泵抽真空能力。除了这些外还需要逐级检查等离子真空处理系统中的各连接点，看是否有管道连接不良或损坏的情形。
3、压缩空气压力低于设定值报警
此报警也叫破空气体压力过低报警，是因为压缩空气的气压不足导致的，主要出现于配有高真空气动挡板阀的真空等离子清洗机，出现此报警时需检查CDA是否正常供气到设备端。确认供气压力有无过高或过低，还要看减压表的报警值设定是否正确，处理这些之外还要再对电气线路进行检查。
4、真空计故障报警
真空计故障报警最可能的原因就是由于真空计损坏造成的，这时需要我们检查真空计的控制线路是否有断路和短路的情况。
5、真空等离子清洗机的急停未复位或已按下报警
此时需检查急停是否被按下，若是未出现这类情况，就要检查急停线路。
6、RF匹配异常报警
调节射频等离子体的入射功率和反射功率,使发生器与等离子体阻抗相匹配
7、反应仓泄露率过...
深圳市金徕技术有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
