高频等离子发生器及其应用工艺具有以下新特点： & EMSP; & EMSP; (1) 由于只在线圈中没有电极，热喷涂附着力大小的规范所以不存在电极损耗的问题。 发生器可以产生非常纯净的等离子体，持续的使用寿命取决于高频电源的电真空装置的寿命。这通常要长约 2000-3000 小时。
各种清洗场所需要不同的设备结构、电极连接和不同种类的反应气体，附着力大小取决于其工艺原理也有很大差异。有些是物理反应，有些是化学反应，还有一种是物理和化学效应。回波的有效性取决于等离子体气源、等离子体系统和等离子体处理操作参数的组合。半导体制造工艺较早采用等离子体刻蚀和等离子体脱胶，利用常压辉光冷等离子体产生的活性物质清洗有机污垢和光刻胶，是替代湿化学清洗的绿色方法。1.清洗工艺以化学清洗为主。
13.56MHz的频率会更低，附着力大小取决于通常为30℃;所以加工一些热易变形的材料，低温真空等离子清洗机是最合适的。四、离子产生条件，这一点比较直观，可以看出大气类型取决于气体的接入，气体压力达到0.2mpa左右即可产生离子。真空型在没有任何外部气体的情况下，依靠真空泵在离子连接到腔体之前产生离子内部真空被抽到25Pa以下产生离子。。
表面反应的驱动力使被去除物体表面的物质发生化学反应。 C、电子与物体表面的作用一方面，热喷涂附着力大小的规范对物体表面的撞击可以加速物体表面吸附的气体分子的分解或吸附，另一方面，大量的电子撞击有利于引发化学反应。电子的质量非常小，以至于它们的移动速度比离子快得多。当等离子体处理时，电子比离子更快地到达物体表面，使表面带负电荷。这有助于引发进一步的反应。离子对物体表面的影响通常是指带正电的阳离子的作用。
