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物质等离子产生的条件是什么

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等离子产生条件

.并且应用范围更广。研究表明,等离子产生条件铜种子层的理想沉积温度低于150°C,以形成厚度为0-1的数纳米尺度的均匀连续的铜膜。为实现铜膜的低温沉积,使用还原性更强的二乙基锌和三甲基铝代替氢气与铜前驱体反应(虽然这种反应体系可以降低沉积温度),锌、铝容易引入。更常用的方法是引入基于热 ALD 的等离子体技术来降低沉积温度。Moon 等人 131 以 Cu 作为铜前驱体。

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