在线等离子清洗设备主要适用于各种材料的表面处理:表面清洗、表面活化、表面蚀刻、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。很多接触过在线等离子清洗设备的人都知道，材料附着力强的有机硅我们的在线等离子清洗设备在行业中只是一个总称，分为很多种，有大气等离子设备、真空等离子设备、卷对卷等离子设备等。
真空低温等离子处理器技术为柔性材料提供了优异的表面活化效果，木材上用什么材料附着力好可用于引线键合前的等离子清洗，提供更清洁的键合表面，为柔性材料提供表面活化功能，但去除过程均匀稳定。真空低温等离子处理器等离子处理长期以来一直被视为微电子和半导体封装行业的重要工艺。在引入适当的等离子工艺之前，等离子清洗可以使接合面更清洁，从而减少产品故障。
这些粒子与固体材料表面的相互作用对等离子体本身或固体材料都有重要意义。转瓶式等离子体清洗设备中的粒子将能量传递到固体材料表面，材料附着力强的有机硅同时等离子体带走大量杂质。对于固体材料来说，由于这些高能粒子的轰击和能量转移，使固体材料表面发生了各种物理和化学反应。因此，研究等离子体与固体材料的相互作用过程，对材料的表面改性和新材料、新工艺的探索十分有利。
随着半导体产业的发展，材料附着力强的有机硅芯片线宽不断缩小，硅片规模不断扩大。芯片线宽由130nm、90nm、65nm逐渐发展到45nm、28nm、14nM,并达到了7nm先进工艺的技能水平。同时，硅片从4英寸、6英寸、8英寸发展到12英寸，未来将突破到18英寸。目前8英寸和12英寸硅片主要用于集成电路制造，12英寸硅片对应的芯片线宽主要为45n...
