由于活性等离子体对被清洗物表面具有物理冲击和化学反应的双重作用，等离子体原理使被清洗物表面材料变成颗粒和气态物质，通过真空排出达到目的。打扫。等离子等离子清洗机的清洗过程，原则上可以分为两个过程。过程一：去除有机物首先利用等离子体原理激活气体分子，然后O、O3与有机物发生反应。达到去除有机物的目的。
由于活性等离子体与被清洗材料的表面发生碰撞反应，等离子体原理使被清洗材料的表面材料变成颗粒和气态物质，通过真空放电达到清洗的目的。过程 1：去除有机化合物首先，它利用等离子体原理激活气体分子。 O_2O + O + 2e-, O + O_2O_3, O_3O + O_2接下来，O和O3与有机物反应以去除有机物。有机化合物 + O, O_3 CO_2 + H_2过程 2 是表面活化。
首先，电场激发等离子体原理‘’它利用等离子体原理激活气体分子。 O_2O + O + 2e-, O + O_2O_3, O_3O + O_2其次，O，O_3含氧官能团的表面活化提高了材料的粘附性和润湿性。反应如下： R + O-RO R + O 2 ROO。柔性屏是柔性OLED屏幕。 2013年，韩国LG Display宣布开始量产第一块柔性OLED面板。
用物理方法还原氧化石墨烯不影响环境，电场激发等离子体原理‘’是一种环境友好的方法。高频等离子体清洗方法或高频等离子体处理氧化石墨烯，一步快速还原氧化石墨烯，制备三维多孔石墨烯材料。拉曼光谱证实，随着射频等离子清洗机...
