，电极材料亲水性然后进行气体等离子点火；气体选自O、Ar、N-气体冲洗工艺的技术参数设置如下：腔室压力10-40mitol，工艺气体流量-500sccm，时间1-5s；工艺技术参数设置如下：腔室压力1040mitol，工艺气体流量-500sccm，顶部电极输出250-400W，时间1-10s； 2、等离子清洗法，所用气体特征为O2； 3、等离子清洗方式，41 机体冲洗工艺技术参数设置如下：腔体压力15 mitol，工艺气体流量300 sccm，时间3s；启动工艺技术参数如下： 设置为：腔体压力15 米糖醇，工艺气体。
它的真正唯一的问题是需要在去除粒子后加入一个除静电装置清洗工艺如下:研磨—吹气—氧等离子体—除静电，超电电极材料的亲水性好通过干式洗净工艺后的电极端子与显示器,增强了偏光板粘贴的成品率,并且电极端与导电膜间的粘附性也大大改善。 精密零件清洗在经过机械加工的零件表面通常残留物为油类污染,采用O2等离子体去除会特别有效。 在最近的研究中人们还在提到等离子体清洗造成材料表面的溅射损伤。
3. 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，超电电极材料的亲水性好使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4. 清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。。
材料经过等离子清洗机处理后，电极材料亲水性表面可以改善和加强附着力和附着力；等离子清洗机处理后的材料微观比表面积增加，润湿性好...
