二、处理宽度小:输出焰体直径小,端电极附着力试验直径2~5mm,适合处理窄边及细小沟槽位置。三、无二次污染:采用进口专用电极材料,烧损极小,减少污染物产生,避免造成工件的二次污染。四、功率可调:功率连续可调,喷嘴结构可根据需要调整,可适应不同处理宽度。五、稳定性高:采用德国电源技术,故障率极低,避免造成生产停滞。。
可根据清洗剂选择氧气、氢气或氮气。 (3)由于在真空室内的电极和接地装置之间施加了高频电压,电极附着力单位气体被分解,通过辉光放电产生电离和等离子体。待处理的工件完全包裹在真空室内产生的等离子体中,开始清洗。通常,清洁过程持续几十秒到几分钟。 (4)清洗后,切断高频电压,排出气体和汽化的污垢,同时将气体吹入真空室,使气压升至1个大气压。
产生等离子体的等离子体清洗/蚀刻装置是将两个电极布置在密封容器中形成电磁场,端电极附着力试验用真空泵实现一定程度的真空,随着气体越来越稀薄,分子之间的距离和分子或离子自由运动的距离也越来越长。在磁场作用下,碰撞形成等离子体,同时会产生辉光。等离子体在电磁场中运动,轰击被处理物体表面,从而达到表面处理、清洗和蚀刻的效果。。
在曲率半径较小的尖端电极附近,检验电极附着力的方法有由于局部电场强度超过气体的电离场强度,气体发生电离和激发,导致电晕放电。当电极周围可见光并伴有嘶嘶声时,就会产生电晕。电晕放电可以是非均匀电场间隙击穿过程中相对稳定的放电形式,也可以是击穿过程的早期发展阶段。介质阻挡放电(DBD)介质阻挡放电(DBD)是将介质绝缘体插入放电空间的一种非平衡气体放电,又称介质阻挡电晕放电或无声放电。
端电极附着力试验
氧气(O2)精密贴片、光源清洗等工艺较为常用。还有许多难以去除的氧化物可以用氢气 (H2) 清洗。但是,贴片电阻附着力只有在真空条件下具有出色的密封性能才能使用。还有许多独特的蒸气,例如(CF4)和(SF6)。蚀刻去除有机物的(效果)更加显着。但使用该类气体的前提是具有较强的耐腐蚀气路和中空结构,并...
三、降低死层影响低温等离子体的处理可以使得表面磷原子分布更加均匀,电池片背电极附着力促进磷原子落位正确,降低了电池片面的死层影响。 等离子清洗机的工艺流程及优点介绍: 1.锂电池电芯等离子体清洗机加工流程: 电芯上料极耳整平等离子清洗电芯正面电芯反面等离子清洗电芯下料 2.等离子清洗机的优点: 等离...
一些非聚合物无机气体(Ar2、N2、H2、O2 等)在高低频下被激发,电极表面活化能产生各种含有离子、激发分子、自由基等的活性粒子。一般来说,在等离子清洗中,活性气体可以分为两类。一种是惰性气体(Ar2、N2 等)的等离子体,另一种是反应气体(O2、H2 等)的等离子体。等离子体产生的原理如下。对一...
这是辉光放电的一个显著特点,电极上的附着力而且在正常辉光放电中,两电极间的电压不随电流变化。由处于能量活跃的激发态的原子、离子或分子向下跃迁发光而形成的等离子体的颜色。由于每种气体中的能级有不同的能量转换,每种工艺气体表现出不同的发光特性,从而产生不同的颜色特性。通过在 15-25 kHz 的频率下...
二、处理宽度小:输出焰体直径小,端电极附着力试验直径2~5mm,适合处理窄边及细小沟槽位置。三、无二次污染:采用进口专用电极材料,烧损极小,减少污染物产生,避免造成工件的二次污染。四、功率可调:功率连续可调,喷嘴结构可根据需要调整,可适应不同处理宽度。五、稳定性高:采用德国电源技术,故障率极低,避免...