清洗和蚀刻：去除工件表面的看不见的有机污染物、表面吸附层和薄膜层。超精密清洗工艺可以解决工件表面的粘附问题。例如在清洗时，电感耦合等离子体刻蚀硅和二氧化硅比工作气体往往是氧气，它通过加速电子与氧离子和自由基碰撞后被高度氧化。工作表面上的污垢，如油脂助焊剂、感光膜、脱模剂、冲头油等很快被氧化成二氧化碳和水，用真空泵抽出，目的是清洁表面，提高润湿性和附着力。冷等离子处理只涉及材料的表面，不影响材料的大部分性能。
甲烷转化率从 43.4% 下降到 24%，二氧化硅清洗机但 C2 烃的收率从 13.4% 提高到 17.6%。 LA2O3 改善二氧化碳。转化率，但 CO 产量降低：当 LA2O3 负载量从 2% 变化到 12% 时，CH4 转化率和 C2 烃产率峰形略有变化，但对 CO2 转化率和 CO 产率影响不大。
二氧化碳转化顺序如下： NI0 / Y-AL2O3> TIO2 / Y-AL2O3> CO2O3 / Y-AL2O3> NA2WO4 /Y-AL2O3 & ASYMP; FE2O3 / Y-AL2O3> RE2O7 / Y-AL2O3 & ASYMP; CR2O3 / Y-AL2O3> MN2O3 / Y-AL2O3 & ASYMP; MOO3 / Y-AL2O3> ZNO / Y-AL2O3。
清洗等离子处理设备的目的是去除静电感应、灰尘和表面油性残留物等污染物。等离子清洗机的精细加工可以完全清洁材料表面，二氧化硅清洗机即使是小颗粒。或者它被放置在表面的孔隙结构中。它被冲走了。等离子清洗机、精细清洗、高效活化等离子清洗机不仅可用于产品清洗...
