1、氩等离子体活化（氩等离子体处理二氧化硅硅片） 此外，氩等离子体活化两种反应机制对表面微观形态的影响也大不相同。物理反应使表面在分子水平上“更粗糙”，改变了表面的粘合性能。还有等离子清洗，物理和化学反应都在表面反应机理中起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀。它会被损坏，可以通过水洗削弱化学键或形成原子状态，更容易吸收反应物，离子碰撞加热被清...
