以硅片面板为例，硅表面亲水性根据测试，采用传统的硅基太阳能制造工艺，不经低温等离子体处理生产多晶硅太阳电池的光电转换效率在17%左右，很难突破。结果表明，多晶硅太阳电池经低温等离子体设备处理后，峰值功率和光电转换效率平均提高约5%。由此推测，低温等离子体处理多晶硅电池表面的方法可以钝化氮化硅表面，去除磷硅玻璃，清洁电池，优化表面绒面革，从而可以提高太阳能电池的产品性能。
多晶栅蚀刻后的形貌对后续工艺有很大的影响。多晶硅顶部和底部的形态会影响应力硅和锗的生长性能。多晶硅经过等离子体表面处理蚀刻后，硅表面亲水性理想的剖面形态会在多晶硅表面残留硬掩膜。多晶硅的轮廓非常垂直，硬掩模的关键尺寸相同。多晶硅蚀刻是横向蚀刻，在等离子体表面处理蚀刻过程中，当硬掩膜和多晶硅的选择蚀刻比不同时，多晶硅顶部的关键尺寸与硬掩膜的关键尺寸不同。
采用低温等离子体处理太阳能电池表层的方法可以钝化氮化硅表层，硅表面亲水性去除磷硅玻璃，清洁电池，优化表层纹理。因此，该技术可用于提高太阳能电池的产品性能。当采用低温等离子处理技术对GPJ太阳能罩的氟化物涂层表层进行处理时，处理功率达到4.0KW，当时间超过3S时，表层性能达到最高点，然后稳定增加。。等离子设备用于太阳能电池等可以进行等离子清洗、蚀刻、等离子电镀、等离子涂层、等离子灰化、表面活化、改性等的场合。
这是通过将能量耦合到自由电子而不是重离子来实现的，如何提高硅表面亲水性这样热敏聚合物，如聚乙烯和聚丙烯，就可以被处理。能源如何与气体结合？在大多数情况下，在低电压环境中，电场被施加在两个电极之间。这就像荧光灯的工作原理一样。唯一的区别是不发出光。我们控制他的化学性质来处理材料的表面。等离子体也可以在大气压下产生。过去大气等离子体温度过高，不能作为表面处理工具。
如何提高...
