等离子体蚀刻机技术的典型应用有:半导体/集成电路;氮化镓;氮化铝/氮化镓;砷化镓/砷化铝;磷化铟，磷化后喷漆 附着力不好镓/铟镓化合物(InPInGaAs/InAlAs);硅硅酸盐陶瓷(氮);溴化氢硅;硒化锌(奈米);铝;铬、铂;钼;铌;铟;钨;铟锡氧化物;钛酸铅;铟塑料/聚合物材料;Polyteflon(聚四氟乙烯);聚甲醛(POM);聚苯并咪唑(PBI);聚醚醚酮(PEEK);聚酰胺(PFA);聚酰胺(PFA);聚酰胺等等。
2、表面处理行业：电镀前除油除锈、离子镀前清洗、磷化处理、除积碳、除氧化皮、除抛光膏、金属工件表面活性转化加工等。 3、仪器仪表行业：装配前等高清洁度精密零件的清洗。 4、电子工业：印刷电路板上的松香和焊点的去除，磷化后喷漆 附着力不好高压触点等机械电子元件的清洗。 6、半导体行业：半导体晶圆的高清洁度清洗。 7、首先监控和装饰行业：去除油泥、灰尘、氧化层、抛光膏等。 8、生化工业：实验室设备的清洗除垢。
但在低温下，磷化后喷漆附着力不好由于副产物较多，不易挥发，当蚀刻总量过多时，副产物的富集效应会造成蚀刻终止（产物InClx不易挥发）。而CH4和H2低温刻蚀主要面临刻蚀速率低导致刻蚀停止的现象。因此，如何低温刻蚀InP材料成为共同的研究热点。比较常见的方法是在常规磷化铟蚀刻气体中混合其他气体。该领域较早的研究是在新西兰卡洛塔报道的。
三、等离子清洗工艺的范围如下： （1）机械工业：防锈油脂的去除、工具的清洗、机器零件的油污除锈、发动机、汽化器、汽车零件、滤清器和滤清器的清洗、网孔疏通清洗等； （2）表面处理相关行业：塑料电镀前除油除锈；离子塑料电镀前清洗；磷化处理；去除积碳；去除氧化皮Do；去除抛光膏；金属材料制品，磷化后喷漆 附着力不好表...
