XY轴采用精密级滑块及细杆调节,感应耦合等离子束刻蚀确保贴合精度。 压力显示采用日本SMC数显压力表,精准、直观。 高可靠性感应系统,配置多项报警功能,实现安全高效。 进口PLC微电脑集中控制,工作稳定可靠,可扩展功能强。。
冷等离子体: 电子温度高(103~104K)、气体温度低,如稀薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体等。2、等离子发生器按等离子体所处的状态:(1)平衡等离子体等离子发生器:气体压力较高,北方华创 感应耦合等离子体刻蚀机电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。
两类等离子体各有特点和用途(见等离子体的工业应用)。气体放电分为直流放电和交流放电。 在科学技术和工业领域应用较多的发生器有电弧等离子体发生器(又称等离子体喷枪、电弧加热器)、工频电弧等离子体发生器、高频感应等离子体发生器、低气压等离子体发生器、燃烧等离子体发生器五类。最典型的为电弧、高频感应、低气压等离子体发生器三类。它们的放电特性分别属于弧光放电、高频感应弧光放电和辉光放电等类型。
2015年初,感应耦合等离子束刻蚀SEMI要求美国政府修改半导体设备出口管制清单,取得突破性成果。认识到中国存在各向异性等离子刻蚀设备,近20年来美国国家安全出口取消管制(专业光伏媒体/世纪新能源网)。这也离不开中微半导体在市场上推出的等离子清洗机CCP机,以及北方微电子在Logic 28nm硅刻蚀方面的历史性突破。。
通常,离子束刻蚀系统 考夫曼对于气体流量控制器的气体管道接头,选择快速螺纹接头或卡套接头,以适应工艺气体真空管道的密封。真空等离子清洗机处理特殊物料时,需要使用液态单体作为排放介质,手动浮子流量计作为流量控制器。对于腐蚀性单体,应使用防腐型浮子流量计。如果真空环境比较恶劣,建议使用高度密闭的转速表。...
高阻抗负载会增加电容串扰,电感耦合式等离子刻蚀所以当使用非常高阻抗负载时,电容串扰会增加,而当使用非常低阻抗负载时,电感串扰会增加。 11.在PCB的内层放置一个快速周期信号。 12.阻抗匹配技术用于确保 BT 信号完整性并防止过冲。 13.注意抗串扰处理,如快速上升沿(tr≤3ns)信号的地包绕,...
这些新的自由基也处于高能状态,离子束刻蚀机钨丝非常不稳定,容易分解成小分子,产生新的自由基。这个过程一直持续到它分解成简单的、易挥发的小分子,这些小分子是稳定的,最终将污染物从金属表面分离出来。在这个过程中,自由基的主要作用是活化过程中能量星的转移。在自由基与表面污染物分子结合的过程中,会释放出大量...
继电器触点氧化层去除、精密零件表面油污、焊接剂等有机清洁剂。低温宽带等离子清洗机 物理反应等离子清洗也称为溅射蚀刻(SPE)或离子铣削(IM),离子束刻蚀机招标其优点是无需化学反应即可清洗表面不留下任何氧化物。被清洗物体的化学纯度和腐蚀作用是各向异性的。缺点是对表面损伤大,热效应大,对被清洗表面的各...
等离子体处理的作用是对材料进行清洁和动画处理,聚焦离子束刻蚀要掩模因为等离子束可以聚焦在被处理的表面区域,复杂的型材结构可以得到有效的处理。等离子体处理系统的优点和特点1、预处理工艺简单、效率高2、即使是型材结构复杂,也可以有针对性地进行预处理。高压放电的基本知识及其在等离子体表面处理中的应用在空气...
在精密制造与高科技材料处理的广阔领域中,真空等离子清洗机以其独特的气体反应机制,成为了提升产品质量与生产效率的关键设备。本文旨在深入剖析真空等离子清洗机中气体的反应机制,揭示其背后的科学原理与应用优势,为您全面展现这一前沿技术的魅力。一、真空等离子清洗机与气体反应机制的概述真空等离子清洗机,顾名思义...
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