本发明通过将电路板放置于真空反应系统中，涂层附着力试验仪器通入少量的氧气，加上高频高压，由高频信号发生器产生高频信号，在石英管中形成强大的电磁场，使氧离子化，使氧离子、氧原子、氧分子、电子等混合物质形成辉光柱。活性原子态氧能迅速将残余胶体氧化为挥发性气体，并使之挥发而被带走。随着现代半导体技术的发展，对蚀刻加工的要求越来越高，多晶硅片等离子蚀刻清洗设备也应运而生。产品稳定性是保证产品生产过程稳定，重复性的关键因素之一。
2. 影响清洗效果的主要因素 2.1 电极影响等离子清洗的效果 电极的设计主要影响等离子清洗的效果，涂层附着力试验仪器如电极的材料、布局和尺寸等。对于内部电极等离子清洗系统，由于电极暴露在等离子中，一些材料的电极会被一些等离子蚀刻或溅射，造成不必要的污染，从而导致电极尺寸的变化，以及电极尺寸的影响。等离子清洗系统。稳定。电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有显着影响。
可充入混合气体，涂层附着力试验仪器同时使用两种或两种以上混合气体，清洗效果更佳。例如，在氩和氧的结合中，氩离子采用该物质。当氩气和氧气分子发生碰撞时，电荷转化并结合形成新的活性成分，大大提高了电离和离子能量。同时，产生更多的活性粒子。此时清洗效果达到1+1>2。但是，在填充不同的气体时需要考虑许多因素。例如，选择的氢气纯度越高，产生的氢离子越多，相应氧化物的清洗速度就越快。但是，反应效率会更高。
等离子体表面处理（点击查看详情）一般使用非聚合气体，竹材涂层附着力的影响因素包括非反应性气体和反应性气体。非反应性气体是指He、Ar等惰性气体，当这类气体的等离子体作用于材料时，惰性气体原子不与高分子链结合，而是蚀刻表面，生成自由基。但当材料接触空气时，表面的自由基会继续与空气中的活性气体发生反应...
