该聚酰亚胺薄膜可被原子氧迅速氧化为挥发性气体，简述塑料薄膜电晕放电处理法原子氧被机械泵抽走，从而去除硅块上的聚酰亚胺薄膜。等离子脱胶具有脱胶操作简单、脱胶效率高、表面层清洁、无划痕、成本低、环保等优点。等离子体脱胶机通常采用电容耦合等离子体平行板反应器。在平行表面电极反应器中，反应离子腐蚀室选择小阴极面积和大阳极面积的非对称设计，在面积较小的电极上放置腐蚀性物质。
该设备可去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层，简述塑料薄膜电晕放电处理法也可用于汽车生产过程中的塑料、涂装前处理。可用于纺织品、滤网、膜的亲水性、疏水性及表面改性，也可用于生物医用培养皿、血管支架、注射器、导管及各种材料交叉涂层的亲水性及预处理。真空等离子体设备可用于航空航天绝缘材料、电子元器件等的表面涂层预处理，也可用于电路板的清洗和蚀刻。薄膜、聚丙烯等材料的非氧化活化处理提高了焊接性能。
例如等离子体表面处理器表面平滑、表面分析、浅注入、薄膜沉积、颗粒去除、刻蚀反应等。随着能量的增加，简述塑料薄膜电晕放电处理法气团沉积向气团刻蚀、气团浅注入等不同反应过渡。等离子体表面处理器产生团簇的具体方法有气体聚集法、超声膨胀法、激光蒸发法、磁控溅射法、离子溅射法、电弧放电法、电喷液态金属法和氦滴引出法。。如何达到等离子表面处理器清洗的清洗效果；等离子体清洗是常用的等离子体表面改性方法之一。
