这一工艺可使材料表面产生新的功能基团，粘着力与附着力如烃基、氨基、羧基等，它们是一些能显著提高材料表面活性的活性基团。-等离子体表面处理仪内有大量的离子，激发态分子以及许多活性颗粒，如自由基，将作用于样品表面，并能去除样品表面原有的污染物和杂质。该工艺还产生腐蚀，能使试样表面粗糙化，形成多个小凹坑，增加试样表面粗糙度，改善固体表面的粘着和浸润性。
等离子清洗机的清洗过程从原理上分为两个过程等离子清洗机的清洗过程从原理上分为两个过程 过程1为：有机物的去除首先是利用等离子的原理将气体分子激活，层间粘着力与涂层附着力然后利用O，O3与有机物进行反应，达到将有机物排除的目的； 过程2为：表面的活化首先是利用等离子的原理将气体分子激活，然后利用O，O3含氧官能团的表面活化作用，来改善材料的粘着性和湿润性能。
等离子清洗可以显著提高焊接线的粘结强度，层间粘着力与涂层附着力降低电路故障的可能性；在等离子区域，溢流树脂、残留光敏剂、溶液残留等有机污染物可以在短时间内去除。无论表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料还是化合物，等离子处理都能有效改善粘着性，从而提高产品的质量。等离子处理在提高任何材料的表面活性方面都是安全、环境和经济的。。
高源功率增加等离子体浓度，粘着力与附着力高偏置功率产生高能物理轰击，这加速了光刻胶的消耗，特别是在图形密集的区域。在高偏置功率下，光刻胶的消耗速度更快。每当光阻剂在整个通孔蚀刻过程完成之前耗尽时，大气等离子清洗器的等离子体将直接轰击层间保护层和层间介电材料。随着光阻剂掩膜的逐渐减少，不再能够很好地保护底层材料，从而导致二次条纹现象，这种现象...
